Interferometer and interference method for generating stable vortex beam

本發明係關於一種可產生穩定多光渦流光束之干涉儀裝置及干涉方法，該干涉儀裝置包括一分光鏡、一杜夫稜鏡、一偏極化分光鏡及一相位延遲裝置。該分光鏡係用以將一輸入光束分成一第一光束及一第二光束。該杜夫稜鏡係以該第一光束之光軸為中心旋轉45度，該杜夫稜鏡接受該第一光束，且使得該第一光束於其內經過一次內全反射而形成一橢圓偏振光束。該偏極化分光鏡係用以將該橢圓偏振光束分成一第三光束及一第四光束。該相位延遲裝置包括至少二平面鏡，用以將該第二光束反射至該偏極化分光鏡而形成一第五光束，該第五光束與該第三光束具有一相位延遲，且該第五光束與該第三光束疊加且干涉後形成一輸出之多光渦流光束。藉此，本發明所輸出之多光渦流光束可以是陣列型多光渦流光束，且該多光渦流光束係為穩定之光束。