Laser-assisted plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon nitride thin film
- Hung Sheng Tsai
- , Gwo Juinn Jaw
- , Sheng Hsiung Chang
- , Chao Chia Cheng
- , Ching Ting Lee
- , Hai Pei Liu
研究成果: Article › 同行評審
15
連結會在新分頁中打開
引文
斯高帕斯（Scopus）