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Low subthreshold swing InGaZnO thin film transistors with UV-ozone-treated BaTiO
3
dielectric layers
Huei Yu Liou, An Hsiu Cheng,
Sheng Yuan Chu
電機工程學系
奈米積體電路工程碩士學位學程
研究成果
:
Conference contribution
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指紋
指紋
深入研究「Low subthreshold swing InGaZnO thin film transistors with UV-ozone-treated BaTiO<sub>3</sub> dielectric layers」主題。共同形成了獨特的指紋。
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Chemical Compounds
Amorphous films
Oxygen vacancies
Thin film transistors
Ozone
Oxides
Densification
Thin films
Metals
Engineering & Materials Science
Amorphous films
Oxygen vacancies
Thin film transistors
Ozone
Densification
Thin films
Oxides
Metals