MANUFACTURING METHODS OF PHOTOMASK AND MICROSTRUCTURE BY USING LASER DRAGGING PROCESS, AND MICROSTRUCTURE

貢獻的翻譯標題: 應用雷射拖拉法之光罩與立體微結構的製造方法與立體微結構

Yung-Chun Lee (Inventor), Chi-cheng Chiu (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

一種應用雷射拖拉法之光罩的製造方法包含:一移動決定步驟,係決定一機台使一基板相對至少一光罩移動之方向及次數;一微結構決定步驟,係決定一立體微結構於該基板上之外貌特徵;一分析步驟,係依據該方向、次數以及該外貌特徵,使用一數值分析方法計算得到該光罩之特徵;以及一生產步驟,係依據該光罩之特徵製造出該光罩。藉由本發明之光罩的製造方法所製造的光罩,可加工出所期望的立體微結構。
貢獻的翻譯標題應用雷射拖拉法之光罩與立體微結構的製造方法與立體微結構
原文English
專利號I428689
出版狀態Published - 1800

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