摘要
本發明提供一種以無染劑一次性陽極氧化鋁形成之擬真圖案的製作方法及具有該擬真圖案之基板。無染劑一次性陽極氧化鋁形成擬真圖案的製作方法,包含有以下步驟一至五。步驟一:提供含鋁基材。步驟二:提供灰階格點光罩,並進行光阻之微影製程,使含鋁基材對應灰階格點光罩之表面設置用以反定義擬真圖案之光阻保護層。步驟三:於室溫下將含鋁基材進行一次性陽極氧化處理,一次性陽極氧化處理包括對含鋁基材施加脈衝訊號,使含鋁基材表面生成多孔隙氧化鋁層,脈衝訊號包含有一正電壓以及一負電壓。步驟四:移除光阻保護層。步驟五:將多孔隙氧化鋁層表面鍍上一金屬層,使多孔隙氧化鋁層產生擬真圖案。
貢獻的翻譯標題 | 無染劑一次性陽極氧化鋁形成之擬真圖案的製作方法及具有該擬真圖案之基板 |
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原文 | English |
專利號 | I588037 |
出版狀態 | Published - 1800 |