摘要
本?明的制造氧化物薄膜的方法，包括下列步?：制?涂料，?涂料包括第一前?物、燃料以及溶?；涂布?涂料于基材上；以及??基材上的涂料施予退火步?，使?涂料?化?氧化物薄膜。本?明的方法不需在真空腔体?予以?施，所以不需搭配昂?的机台??，使得成本低且可用以制造大面?的氧化物薄膜。
| 貢獻的翻譯標題 | 製造氧化物薄膜的方式 |
|---|---|
| 原文 | English |
| 專利號 | ZL201110103211.4 |
| 出版狀態 | Published - 2011 11月 2 |
Method for manufacturing oxide thin film
Jow-Lay Huang (Inventor), Jen-Sue Chen (Inventor), Jih-Jen Wu (Inventor)
研究成果: Patent