Method for manufacturing zno nano-structure

貢獻的翻譯標題: 氧化鋅奈米結構之製造方法

Chuan-Pu Liu (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

一種氧化鋅(ZnO)奈米結構之製造方法。在此方法中,先提供一基板。接下來,可選擇性地於基板表面上成長氧化鋅緩衝層。接著,形成一氧化鋅鎂(MgZnO)成核穩定層(Nucleation Stabilization Layer)於此基板上之氧化鋅緩衝層上。隨後,成長一氧化鋅奈米柱狀結構層於氧化鋅鎂成核穩定層之一表面上。當僅形成氧化鋅緩衝層與氧化鋅鎂成核穩定層之其中一者時,後續所形成之氧化鋅奈米結構層係一氧化鋅奈米牆狀結構層。
原文English
專利號I269779
出版狀態Published - 1800

引用此文

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TY - PAT

T1 - Method for manufacturing zno nano-structure

AU - Liu, Chuan-Pu

PY - 1800

Y1 - 1800

N2 - 一種氧化鋅(ZnO)奈米結構之製造方法。在此方法中,先提供一基板。接下來,可選擇性地於基板表面上成長氧化鋅緩衝層。接著,形成一氧化鋅鎂(MgZnO)成核穩定層(Nucleation Stabilization Layer)於此基板上之氧化鋅緩衝層上。隨後,成長一氧化鋅奈米柱狀結構層於氧化鋅鎂成核穩定層之一表面上。當僅形成氧化鋅緩衝層與氧化鋅鎂成核穩定層之其中一者時,後續所形成之氧化鋅奈米結構層係一氧化鋅奈米牆狀結構層。

AB - 一種氧化鋅(ZnO)奈米結構之製造方法。在此方法中,先提供一基板。接下來,可選擇性地於基板表面上成長氧化鋅緩衝層。接著,形成一氧化鋅鎂(MgZnO)成核穩定層(Nucleation Stabilization Layer)於此基板上之氧化鋅緩衝層上。隨後,成長一氧化鋅奈米柱狀結構層於氧化鋅鎂成核穩定層之一表面上。當僅形成氧化鋅緩衝層與氧化鋅鎂成核穩定層之其中一者時,後續所形成之氧化鋅奈米結構層係一氧化鋅奈米牆狀結構層。

M3 - Patent

M1 - I269779

ER -