Method for searching and analyzing process parameters and computer program product thereof

貢獻的翻譯標題: 製程參數的搜尋與分析方法及其電腦程式產品

Fan-Tien Cheng (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

一種製程參數的搜尋與分析方法及其電腦程式產品。首先,獲取製程機台分別處理複數個工件時所產生之複數組製程資料,其中每一組製程資料包含有複數個製程參數。然後,獲取被量測機台所量測出之工件之量測資料,其中量測資料以一對一的方式分別對應至製程資料,每一個工件具有至少一個量測點,每一組量測資料包含此至少一個量測點之至少一量測項目的至少一個實際量測值。接著,進行製程參數篩選步驟,以從製程參數中篩選出複數個關鍵參數。然後,進行製程參數最佳化步驟,以調整關鍵參數的數值來使一個工件之量測點的預測量測值符合品質目標值。.
原文English
專利號I549007
出版狀態Published - 2014 八月 16

引用此文

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TY - PAT

T1 - Method for searching and analyzing process parameters and computer program product thereof

AU - Cheng, Fan-Tien

PY - 2014/8/16

Y1 - 2014/8/16

N2 - 一種製程參數的搜尋與分析方法及其電腦程式產品。首先,獲取製程機台分別處理複數個工件時所產生之複數組製程資料,其中每一組製程資料包含有複數個製程參數。然後,獲取被量測機台所量測出之工件之量測資料,其中量測資料以一對一的方式分別對應至製程資料,每一個工件具有至少一個量測點,每一組量測資料包含此至少一個量測點之至少一量測項目的至少一個實際量測值。接著,進行製程參數篩選步驟,以從製程參數中篩選出複數個關鍵參數。然後,進行製程參數最佳化步驟,以調整關鍵參數的數值來使一個工件之量測點的預測量測值符合品質目標值。.

AB - 一種製程參數的搜尋與分析方法及其電腦程式產品。首先,獲取製程機台分別處理複數個工件時所產生之複數組製程資料,其中每一組製程資料包含有複數個製程參數。然後,獲取被量測機台所量測出之工件之量測資料,其中量測資料以一對一的方式分別對應至製程資料,每一個工件具有至少一個量測點,每一組量測資料包含此至少一個量測點之至少一量測項目的至少一個實際量測值。接著,進行製程參數篩選步驟,以從製程參數中篩選出複數個關鍵參數。然後,進行製程參數最佳化步驟,以調整關鍵參數的數值來使一個工件之量測點的預測量測值符合品質目標值。.

M3 - Patent

M1 - I549007

ER -