METHOD OF DIAMOND NUCLEATION

貢獻的翻譯標題: 鑽石成核方法

Yon-Hua Tzeng (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

本發明係有關於一種鑽石成核方法,包括下列步驟:提供一基板並以一化學試劑前處理該基板之一表面,其中該化學試劑係至少一選自由一硫酸鹽、一磷酸鹽、及一過硫酸鹽所組成之群組;提供ㄧ混合氣體於ㄧ反應室中,其中該混合氣體包括一含碳氣體,及更可選擇性包括一惰性氣體、一氫氣或一二氧化碳(例如:氬氣+甲烷、氬氣+氫氣+甲烷、氫氣+甲烷、二氧化碳+甲烷皆可);以及於該反應室中形成ㄧ電漿,並於未外加偏壓之條件下,使該含碳氣體於經前處理之該基板之該表面上反應形成複數個核種。
貢獻的翻譯標題鑽石成核方法
原文English
專利號I429779
出版狀態Published - 1800

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