Method of Manufacturing Aligned Carbon Nanotubes

貢獻的翻譯標題: 準直性奈米碳管之製造方法

Jyh-Ming Ting (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

本發明係有關於一種準直性奈米碳管之製造方法,係包括下列步驟:(A)提供一基板;(B) 於該基板上沉積一催化層;(C) 利用一蝕刻氣體蝕刻該催化層,形成複數個催化顆粒於該基板上;(D) 設置一電漿干擾元件於具有該些催化顆粒之基板上;以及(E) 通入一碳源氣體,並利用微波電漿化學氣相沉積法將該碳源沉積於該些催化顆粒上,以獲得準直性奈米碳管。
貢獻的翻譯標題準直性奈米碳管之製造方法
原文English
專利號I494268
出版狀態Published - 1800

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