METROLOGY SAMPLING METHOD AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT THEREOF

貢獻的翻譯標題: 量測抽樣方法與其電腦程式產品

Fan-Tien Cheng (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

一種量測抽樣方法,其係運用可偵測出在生產過程中製程機台之各種狀態改變(如執行機台保養、更換機台零組件、調整機台參數等)或機台資訊異常(如製程資料品質不良、機台參數值漂移、量測資料品質不良等)之各式指標值,來建構出一智慧型取樣決策(Intelligent Sampling Decision;ISD)機制,以在確保虛擬量測的精度下,降低工件量測抽測率。這些指標值包括:信心指標(Reliance Index;RI)值、整體相似度指標(Global Similarity Index;GSI)值、製程資料品質指標(DQIX)值和量測資料品質指標(DQIy)值。
原文English
專利號I521360
出版狀態Published - 1800

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