摘要
一种多重气体感?器，包括：一基板、一磊晶?、一金?氧化物?、一第一金??、一第二金??及多?第三金??。磊晶?成?于基板上，并且具有一第一磊晶?构及一第二磊晶?构，第一磊晶?构及第二磊晶?构之?具有一?隙。金?氧化物?成?于第一磊晶?构上；第一金??成?于第二磊晶?构上，且第一金??具有至少?种金?；第二金??成?于第二磊晶?构上，并且第二金??与第一金??之?保持一段距离；以及，第三金??成?于金?氧化物?、第一金??及二金??上。
| 貢獻的翻譯標題 | 多重氣體感測器及其製作方法 |
|---|---|
| 原文 | English |
| 專利號 | 1114001 |
| 出版狀態 | Published - 2011 十二月 14 |