Multi-gas sensor and manufacturing method thereof

Huey-Ing Chen; Wen-Chau Liu

Multi-gas sensor and manufacturing method thereof

貢獻的翻譯標題: 多重氣體感測器及其製作方法

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

一种多重气体感?器，包括：一基板、一磊晶?、一金?氧化物?、一第一金??、一第二金??及多?第三金??。磊晶?成?于基板上，并且具有一第一磊晶?构及一第二磊晶?构，第一磊晶?构及第二磊晶?构之?具有一?隙。金?氧化物?成?于第一磊晶?构上；第一金??成?于第二磊晶?构上，且第一金??具有至少?种金?；第二金??成?于第二磊晶?构上，并且第二金??与第一金??之?保持一段距离；以及，第三金??成?于金?氧化物?、第一金??及二金??上。

貢獻的翻譯標題	多重氣體感測器及其製作方法
原文	English
專利號	1114001
出版狀態	Published - 2011 12月 14

引用此

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type = "Patent",

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TY - PAT

T1 - Multi-gas sensor and manufacturing method thereof

AU - Chen, Huey-Ing

AU - Liu, Wen-Chau

PY - 2011/12/14

Y1 - 2011/12/14

N2 - 一种多重气体感?器，包括：一基板、一磊晶?、一金?氧化物?、一第一金??、一第二金??及多?第三金??。磊晶?成?于基板上，并且具有一第一磊晶?构及一第二磊晶?构，第一磊晶?构及第二磊晶?构之?具有一?隙。金?氧化物?成?于第一磊晶?构上；第一金??成?于第二磊晶?构上，且第一金??具有至少?种金?；第二金??成?于第二磊晶?构上，并且第二金??与第一金??之?保持一段距离；以及，第三金??成?于金?氧化物?、第一金??及二金??上。

AB - 一种多重气体感?器，包括：一基板、一磊晶?、一金?氧化物?、一第一金??、一第二金??及多?第三金??。磊晶?成?于基板上，并且具有一第一磊晶?构及一第二磊晶?构，第一磊晶?构及第二磊晶?构之?具有一?隙。金?氧化物?成?于第一磊晶?构上；第一金??成?于第二磊晶?构上，且第一金??具有至少?种金?；第二金??成?于第二磊晶?构上，并且第二金??与第一金??之?保持一段距离；以及，第三金??成?于金?氧化物?、第一金??及二金??上。

M3 - Patent

M1 - 1114001

ER -