Multi-gas sensor and manufacturing method thereof

貢獻的翻譯標題: 多重氣體感測器及其製作方法

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

一种多重气体感?器,包括:一基板、一磊晶?、一金?氧化物?、一第一金??、一第二金??及多?第三金??。磊晶?成?于基板上,并且具有一第一磊晶?构及一第二磊晶?构,第一磊晶?构及第二磊晶?构之?具有一?隙。金?氧化物?成?于第一磊晶?构上;第一金??成?于第二磊晶?构上,且第一金??具有至少?种金?;第二金??成?于第二磊晶?构上,并且第二金??与第一金??之?保持一段距离;以及,第三金??成?于金?氧化物?、第一金??及二金??上。
貢獻的翻譯標題多重氣體感測器及其製作方法
原文English
專利號1114001
出版狀態Published - 2011 十二月 14

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