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概要
研究單位
研究成果
專案
學生論文
設備
獎項
活動
按專業知識、姓名或所屬機構搜尋
Parametric investigation of Laser-Assisted Direct Imprint (LADI) technique
C. Y. Lin,
Y. C. Lee
, F. B. Hsiao, C. H. Chuang
機械工程學系
研究成果
:
Conference contribution
2
引文 斯高帕斯(Scopus)
總覽
指紋
指紋
深入研究「Parametric investigation of Laser-Assisted Direct Imprint (LADI) technique」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Engineering & Materials Science
Excimer lasers
56%
Heating
13%
Laser pulses
47%
Lasers
69%
Lithography
20%
Machining
14%
Molds
21%
Nanotechnology
42%
Photolithography
23%
Silicon
14%
Wavelength
16%
Physics & Astronomy
excimer lasers
36%
fluence
46%
heating
11%
lasers
40%
lithography
15%
machining
19%
nanofabrication
43%
photolithography
20%
platforms
15%
pulse duration
15%
pulses
9%
silicon
9%
wavelengths
8%
Chemical Compounds
Excimer
100%
Pressure
53%
Wavelength
32%