PHASE SHIFTING MOIRE INTERFEROMETRY BASED ON LIQUID CRYSTAL PHASE MODULATORS

本發明係關於一種相位移疊紋干涉儀，其特徵在於該干涉儀具有一液晶相位調變器用以調變該干涉儀中光束之光相位，藉由相位移技術之實現以得到待測元件位移場之連續分布。利用液晶相位調變器來實現相位移技術之優點在於，其不僅構造簡單，而且在使用時不需要移動干涉儀中之任一元件，因此不會產生因移動之機械誤差。