PHOTOMASK AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

貢獻的翻譯標題: 金屬嵌入光罩及其製造方法

Yung-Chun Lee (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

一種金屬嵌入光罩之製造方法包含:將至少一金屬材料形成於一基板上,基板具有複數凸部突出於基板之一表面,各凸部具有複數側面及一頂面,該等側面連接頂面與表面,金屬材料形成於頂面及表面;貼附一軟性膜材於基板之頂面;以及使軟性膜材自頂面脫離而將位於頂面之金屬材料部分移除。本發明之金屬嵌入光罩之製造方法製程簡易且大幅降低成本,並且本發明之金屬嵌入光罩之金屬材料不會形成在凸部的頂面,因而避免金屬材料所形成之金屬層與另一基板摩擦,而能延長光罩之使用壽命。
貢獻的翻譯標題金屬嵌入光罩及其製造方法
原文English
專利號10-1505317
出版狀態Published - 1800

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