Process for Producing Target

貢獻的翻譯標題: 一種靶材製造方法

Wen-Shi Lee (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

本發明係為一種靶材的製造方法,其步驟包含:提供一Se壓餅、在一預設溫度下熱處理該Se粉末壓餅、濺鍍一導電薄膜層以附著該Se粉末壓餅、沉積一第一材料層以附著該導電薄膜層、沉積一第二材料層以附著該第一材料層、以及以一預設時間長度退火上述結構,以得到該靶材,該靶材具有CuInSe2材質,其中該導電薄膜層、該第一材料層和該第二材料層的任一的材料是Cu或In
貢獻的翻譯標題一種靶材製造方法
原文English
專利號I413704
出版狀態Published - 1800

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