Self-forming AlOx layer as Cu diffusion barrier on porous low-k film

Dung Ching Perng, Jia Bin Yeh, Kuo Chung Hsu, Shuo Wen Tsai

研究成果: Article › 同行評審

21 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Self-forming AlOx layer as Cu diffusion barrier on porous low-k film」主題。共同形成了獨特的指紋。

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