原文 | English |
---|---|
頁(從 - 到) | 1244-1249 |
頁數 | 6 |
期刊 | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
卷 | 22 |
發行號 | 3 |
DOIs | |
出版狀態 | Published - 2004 |
All Science Journal Classification (ASJC) codes
- 凝聚態物理學
- 電氣與電子工程
Yung Chiang Lan, Chun Tao Lee, Yuan Hu, Shih Hung Chen, Cheng Chung Lee, Bing Yue Tsui, Tsang Lang Lin
研究成果: Article › 同行評審
原文 | English |
---|---|
頁(從 - 到) | 1244-1249 |
頁數 | 6 |
期刊 | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
卷 | 22 |
發行號 | 3 |
DOIs | |
出版狀態 | Published - 2004 |