摘要
一種利用可剝膜之表面加工方法包含：於一基板上形成一功能膜；於功能膜上形成一圖案化可剝膜；藉由一蝕刻液蝕刻未被圖案化可剝膜覆蓋之功能膜部分；以及藉由水或一機械力將圖案化可剝膜去除而使功能膜成為一圖案化功能膜。本發明係利用可剝膜來進行表面加工，所以不需形成光阻以及曝光、顯影等步驟，因而可大幅簡化製程並降低成本。
| 原文 | English |
|---|---|
| 專利號 | I509683 |
| 出版狀態 | Published - 1800 |
引用此文
Liu, J-H. (1800). SURFACE PROCESSING METHOD BY USING PEELABLE FILM. (專利號 I509683).
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title = "SURFACE PROCESSING METHOD BY USING PEELABLE FILM",
abstract = "一種利用可剝膜之表面加工方法包含：於一基板上形成一功能膜；於功能膜上形成一圖案化可剝膜；藉由一蝕刻液蝕刻未被圖案化可剝膜覆蓋之功能膜部分；以及藉由水或一機械力將圖案化可剝膜去除而使功能膜成為一圖案化功能膜。本發明係利用可剝膜來進行表面加工，所以不需形成光阻以及曝光、顯影等步驟，因而可大幅簡化製程並降低成本。",
author = "Jui-Hsiang Liu",
year = "1800",
language = "English",
type = "Patent",
note = "I509683",
}
Liu, J-H 1800, SURFACE PROCESSING METHOD BY USING PEELABLE FILM, 專利號 I509683.
SURFACE PROCESSING METHOD BY USING PEELABLE FILM. / Liu, Jui-Hsiang (Inventor).
專利號: I509683.研究成果: Patent
TY - PAT
T1 - SURFACE PROCESSING METHOD BY USING PEELABLE FILM
AU - Liu, Jui-Hsiang
PY - 1800
Y1 - 1800
N2 - 一種利用可剝膜之表面加工方法包含：於一基板上形成一功能膜；於功能膜上形成一圖案化可剝膜；藉由一蝕刻液蝕刻未被圖案化可剝膜覆蓋之功能膜部分；以及藉由水或一機械力將圖案化可剝膜去除而使功能膜成為一圖案化功能膜。本發明係利用可剝膜來進行表面加工，所以不需形成光阻以及曝光、顯影等步驟，因而可大幅簡化製程並降低成本。
AB - 一種利用可剝膜之表面加工方法包含：於一基板上形成一功能膜；於功能膜上形成一圖案化可剝膜；藉由一蝕刻液蝕刻未被圖案化可剝膜覆蓋之功能膜部分；以及藉由水或一機械力將圖案化可剝膜去除而使功能膜成為一圖案化功能膜。本發明係利用可剝膜來進行表面加工，所以不需形成光阻以及曝光、顯影等步驟，因而可大幅簡化製程並降低成本。
M3 - Patent
M1 - I509683
ER -
Liu J-H, 發明者. SURFACE PROCESSING METHOD BY USING PEELABLE FILM. I509683. 1800.