壓電式低應力拋光裝置

范 陽鑑 (Inventor), Yeau-Ren Jeng (Inventor), 蔡 孟勳 (Inventor), 潘 文玨 (Inventor), 賴 哲雄 (Inventor)

研究成果: Patent

貢獻的翻譯標題THE LOW-STRESS POLISHING APPARATUS WITH PIEZOELECTRIC ACTUATOR
原文???core.languages.zh_TW???
專利號I270131
IPCH01L-021/302
優先日期25-09-28
提交日期05-09-29
出版狀態Published - 2007 一月 1

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