以溶膠凝膠法製備非當量鈮酸鈉鉀與鋰摻雜之壓電薄膜及其特性探討

摘要

本論文利用溶膠凝膠法在Pt(111)/TiO2/SiO2/Si(100)基板上製作無鉛非當量的(Na0 5K0 5)NbO3 (NKN)薄膜，藉由XRD、SEM、AFM、J-V、XPS、P-E、d33等儀器去探討其微結構與電特性的影響。在本研究中發現，NKN薄膜在高溫退火的過程中會使鈉、鉀離子揮發，並導致二次相與氧空缺的產生；這些二次相與氧空缺會使得晶格結構的改變以及電特性的下降。因此，適當的補償鈉、鉀進入薄膜裡有助於改善其電性；此外，本論文還探討了電荷在薄膜裡傳導的機制，此增加了發展成元件的可能性。最後，我們找出最佳鈉、鉀補償的參數，成?的製備出NKN薄膜。 本論文另一個重點為利用過量添加鈉、鉀的最佳參數去摻雜鋰元素進去NKN形成Lix(Na0 5 K0 5)(1-x)NbO3的結構，並探討不同比例的鋰摻雜對微結構與電特性的影響，最後發現適當的鋰摻雜有助於提升殘餘極化量與壓電係數。

獎項日期	2014 7月 30
原文	???core.languages.zh_ZH???
監督員	Sheng-Yuan Chu (Supervisor)