利用奈米壓印微影術製作金/銀奈米柱陣列的表面增強拉曼散射基板

摘要

表面增強拉曼散射(Surface-enhanced raman scattering SERS)是一項強力的非破壞性檢測工具，從它第一次被發表至今，隨著表面電漿的研究突破與製程技術的進步，其檢測的效果也越來越好。而如何低成本、快速且大量的製作含有高密度的熱點(hot spots)的SERS基板就成了近年研究該領域的重點。 本研究利用奈米壓印微影術與後續金屬沉積製作金/銀奈米柱陣列(Gold/Silver coated nano-pillar arrays)結構的SERS基板。透過這樣的製程方法，我們將原本使用極紫外光干涉式微影術製作的週期100nm與直徑50 nm的高密度的奈米柱陣列成?且快速的複製出來，後續金屬沉積的方式更是能將圓柱之間的間隙壓縮至20 nm左右。後續透過嚴格耦合波分析法與實際量測，判斷與確認不同形貌與金屬的基板的增益效果與適用的激發光源。 我們製作的SERS基板在使用633 nm雷射當激發光源時，在偵測R6G水溶液時，最小的莫耳濃度能達到10-9 M，且除了基板整體的均勻度以相對標準偏差呈現能小於10%外，不同樣品之間所偵測到的訊號強度也非常接近，再再證明我們的製程除了能完整的製作高密度的結構外，相較於其他昂貴的製程方法，我們能更快速更簡便的達到優良的SERS偵測效果。

獎項日期	2018 8月 30
原文	???core.languages.zh_ZH???
監督員	Chun-Hung Lin (Supervisor)