基於模型預測控制法於精密追跡之實現與驗證-以原子力顯微鏡為例

  • 梁 能凱

學生論文: Master's Thesis

摘要

本研究以原子力顯微鏡為例,以模型預測控制器來達成精密追跡的目標,並獲得最佳化輸入。透過控制原子力顯微鏡的 z 軸致動器來追蹤樣品形貌。此外,藉由Microsoft Foundation Class(MFC)軟體設計之圖形使用者介面(GUI)與原子力顯微鏡整合,並利用實時資料交換(Real Time Data eXchange RTDX)實現主/從處理器間的資料傳輸,使系統的操作上更為簡便如直接。實驗結果顯示,設計之控制器可達到精確地追蹤樣品形貌,且 兼顧性能與輸入的最佳化控制。
獎項日期2015 七月 15
原文Chinese
監督員Szu-Chi Tien (Supervisor)

引用此

基於模型預測控制法於精密追跡之實現與驗證-以原子力顯微鏡為例
能凱, 梁. (Author). 2015 七月 15

學生論文: Master's Thesis