應用模式樹與偏最小平方法預測氧化銦錫薄膜電阻值之研究

  • 黃 誌成

學生論文: Master's Thesis

摘要

在觸控面板的生產各站點裡,其中有道氧化銦錫濺鍍機的製程,在濺鍍機上安裝氧化銦錫靶材從事生產,會在玻璃的表面上沉積一層氧化銦錫薄膜,而此薄膜的出貨規格是量測電阻值當依據,在濺鍍機內的腔體設定屬性參數值,其類別可分有真空壓力、磁控裝置、氣體流量、直流?率和傳送速度,且該機台動作是快速連續式生產,當某個屬性的數值有所變動,就有可能造成電阻值規格偏移,再往回找出異常的產出品,這些花費的時間、人力與重工成本滿可觀的。故本研究希望可以找到影響電阻值的關鍵屬性,並瞭解如何去管控它,解決生產線上的品質異常去節省製造成本,經由資料探勘的模式樹與偏最小平方法,此兩種方法是屬於數值預測模型,模式樹的運算結果會得到樹狀結構圖,內部會挑選出節點屬性,葉部節點則給予線性迴歸式,偏最小平方法則依屬性貢獻性的大小,來排列各屬性的重要性。在資料探勘前,取得資料後會先進行前置處裡,包括資料整併、屬性挑選與數值正規化,之後使用該兩種方法進行探勘研究;模式樹與偏最小平方法一同預測出腔體溫度與靶材?率是關鍵屬性,並且在線性迴歸式裡找到調整屬性數值的準則,在釐清阻值的偏高或偏低問題上,提供一個有數據為依據的科學方法來做決策,方便日後工程師在調整參數上,有可依循的標準與規則。
獎項日期2017 八月 28
原文Chinese
監督員Tzu-Tsung Wong (Supervisor)

引用此

應用模式樹與偏最小平方法預測氧化銦錫薄膜電阻值之研究
誌成, 黃. (Author). 2017 八月 28

學生論文: Master's Thesis