改良式動態調控機制於電漿設備用阻抗匹配器之研究

  • 吳 信宏

學生論文: Master's Thesis

摘要

本論文係針對射頻電漿設備用阻抗匹配器,研究並改良其動態調控機制。為使電漿製程設備於操作中維持穩定且獲得最大?率轉移,須藉由阻抗匹配器調控,令等效輸入阻抗與射頻電源特性阻抗同為50Ω,即達成阻抗匹配之目的。本文對於操作頻率13 56MHz之L型匹配網絡,探討可變元件與整體等效阻抗間靈敏度關係。建立改良型阻抗匹配調控機制,對射頻信號轉換之阻抗與相位訊號判斷,優先以阻抗值50Ω調整,調控達成等效阻抗50Ω之目的。最後於MATLAB建模分析,模擬調控機制過程與阻抗變化,藉由模擬與實驗測試結果,驗證本論文阻抗匹配調控機制可行性。
獎項日期2015 七月 22
原文Chinese
監督員Jia-You Lee (Supervisor)

引用此

改良式動態調控機制於電漿設備用阻抗匹配器之研究
信宏, 吳. (Author). 2015 七月 22

學生論文: Master's Thesis