曝光光罩維護保養成本最小化之研究

  • 呂 政達

學生論文: Master's Thesis

摘要

每家企業最大的目標不外乎是重視品質、壓低生產成本並追求最大?潤,設備維護演進之方式,從定期設備保養,進展到較高技術之預知保養的方式,將對製造產業設備維護成本有非常大的影響。本研究透過實證分析,以期望得到曝光光罩預防維護保養單位時間內最小綜效成本的決策,其中綜效成本包括各設備閒置成本、光罩清洗成本、檢測成本、人力成本及風險(重工及報廢)管控成本。為了建立本研究對象在曝光製程機台的曝光光罩預防維護保養模型,來求得曝光光罩置換策略,利用電腦模擬軟體來取代相當複雜的數學運算式,後續只需調整及變???的設定值,就可進行參數的敏感度分析、比較曝光光罩預防維護保養不同策略的優劣。本研究得到的結果如下:1 維持曝光光罩在光罩清洗機忙碌且無備用光罩的情形下,仍持續生產直到光罩清洗機閒置或有備用光罩可以使用的清洗策略具較低之綜效成本,2 固定式的光罩清洗頻率造成綜效成本居高不下,3 在不同的生產情形下,可以提供決策者快速地參考如何制定最佳的曝光光罩預防維護保養策略,助於實務面上曝光光罩預防維護保養的決策管理。
獎項日期2014 七月 11
原文Chinese
監督員Chung-Chi Hsieh (Supervisor)

引用此

曝光光罩維護保養成本最小化之研究
政達, 呂. (Author). 2014 七月 11

學生論文: Master's Thesis