氣體環境對低電壓五環素薄膜電晶體之電特性影響研究

  • 何 昀洋

學生論文: Master's Thesis

摘要

本論文研究不同氣體環境對五環素薄膜電晶體元件的電特性影響,氣體環境如氬氣、氮氣、氧氣、與飽和水氣環境,主要利用電場—極化分析與表面電位顯微鏡(Scanning Kelvin Probe Microscopy SKPM)量測,探討不同氣體對有機元件之電性的影響機制。以真空環境下,元件表現出的電特性為基準,當操作於氬氣與氮氣環境下,元件的轉換與輸出電特性未有明顯改變;然而,當操作於水氣與氧氣環境下,元件的輸出電流則有大幅提升。利用阻抗量測金屬/?綠體/金屬(MIM)二極體與金屬/?綠體/半導體/金屬(MISM)二極體的電容特性,發現當元件操作在水氣的環境下,MISM元件較MIM元件表現出較高的電容值,電場—極化分析指出水氣可增益MISM元件內的極化電場,因此解釋了於水氣環境下,五環素薄膜電晶體元件有較佳的電特性。利用SKPM量測在不同氣氛下,銀源、汲極與五環素主動層間的表面位能差,發現在氧氣環境下,銀電極與五環素有最小的位能差,有助於載子於源汲極與主動層間的注入∕取出效率,因此,五環素薄膜電晶體元件可表現出較佳的電特性。綜合而論,氬氣和氮氣環境對五環素薄膜電晶體的電特性並無明顯效應,而氧氣與水氣環境則對五環素薄膜電晶體的電特性有明顯的正效應。
獎項日期2018 八月 30
原文???core.languages.zh_ZH???
監督員Horng-Long Cheng (Supervisor)

引用此

'