脈衝雷射沉積法成長Bi2Te3/Sb2Te3多層膜熱電特性之研究

  • 饒 貫玄

學生論文: Master's Thesis

摘要

透過脈衝雷射沉積法將Bi2Te3與Sb2Te3成長在無晶相之鈉玻璃基板,並將其長成多層膜結構,實驗分為兩部分,一部分是固定總厚度(96nm)改變層數分別從2層到24層,之後透過霍爾量測確認材料的傳輸性質,發現在鈉玻璃基板上成長的Bi2Te3 Sb2Te3多層膜是P型、,再利用四點量測得到電阻率;透過Seebeck effect 確認材料Seebeck 係數隨層數變化,發現發現12層(8nm)有最高的Seebeck與PF(Power Factor)。之後第二部分是就是由8nm的參數最變化,固定雙層膜(8nm/8nm)的厚度改變總厚度,發現當層數增加的時候Seebeck也跟著增加但是在10層的時候達最大值,不會無限上升。由此可以知道介面可以有效提升Seebeck提高PF,但是由於電阻率也會上升會降低PF,但是Seebeck的效應是平方倍,所以整體PF還是上升的。
獎項日期2016 八月 30
原文???core.languages.zh_ZH???
監督員Jung-Chun Huang (Supervisor)

引用此

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