適用於AVM系統之信心指標異常分析機制

摘要

無論半導體、面板、太陽能等科技產業，生產效率與產品品質為顧客滿意之重要指標；當生產流程已被精實化，而難以精進時，產品之品質檢驗即扮演重要角色。為達到上述目的，最好的檢驗方式為全檢，即能夠獲得每一件產品的品質資訊，但因龐大的檢驗成本和無法滿足產品交期，而滯礙難行。有鑑於此，虛擬量測 (Virtual Metrology VM)技術便發展用於解決上述問題，在不增加抽測樣本的條件下，利用生產機台的製程參數 (Process data)納入推估模型架構進行產品品質之推估，並達到線上且即時之品質監控。全自動虛擬量測 (Automatic Virtual Metrology AVM)系統主要可分成三大部分，包含資料前處理，預測模型以及監控機制。監控機制又包含了製程參數相似度指標 (Similarity Index SI)以及預測信心指標 (Reliance Index RI)。然而目前AVM系統中信心指標發生異常時，表示預測值信心度不足，但未能提供問題發生之根本原因。因此，本論文將提出一精進信心指標機制異常分析方法，於信心指標發生異常時，解析AVM系統中之預測模型，即時判斷及辨識發生異常之製程參數，並通知設備工程師進行機台檢查，以確保整體製程品質與維護AVM系統預測精度。

獎項日期	2015 8月 28
原文	???core.languages.zh_ZH???
監督員	Fan-Tien Cheng (Supervisor)