鍍製具氫氣電漿處理之非晶矽/矽鍺薄膜串疊太陽能電池於可撓式基板

  • 莊 明憲

學生論文: Master's Thesis

摘要

非晶矽基太陽能電池一般是利用電漿增強式化學氣相沉積系統(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition PECVD)進行薄膜沉積,過程中基板溫度必須維持在250 ℃,否則薄膜會產生劣化等相關問題,因此在軟性基板選用上,耐熱溫度可在250 ℃以上是基本要求。聚亞醯胺(Polyimide PI)可作為軟性基板,具有可耐高溫至320 ℃、抗酸鹼能力佳及易撓曲的特性,因此本研究使用Polyimide作為塑膠軟性基板,並以倒置的n-i-p結構將非晶矽薄膜太陽能電池沉積在Polyimide塑膠軟性基板上,最後鍍製出高效率且可彎曲的串疊太陽能電池。 本研究首先將n-i-p結構太陽能電池成長於玻璃上,由於成長表面的差異性,導致沉積出來的p型非晶矽薄膜品質較差,降低整體太陽能電池轉換效率。因此,本研究利用氫氣電漿處理分別於i/p接面及p/ITO接面做處理,以減少薄膜表面懸鍵並提升後續薄膜沉積的品質。最後鍍製出轉換效率3 27 %之n-i-p結構非晶矽太陽能電池於可撓基板,並有效改善元件之特性。再將最佳化條件轉移至Polyimide塑膠軟性基板上,並與矽鍺電池作串疊,鍍製出效率4 26 %的氫氣電漿處理n-i-p-n-i-p結構非晶矽/矽鍺串疊薄膜太陽能電池於可撓式基板。最後改變不同彎曲次數及曲率半徑,分析不同彎曲條件下對於矽基可撓式薄膜太陽能電池的影響。 關鍵字:非晶矽; 氫氣電漿處理; 串疊; 矽鍺
獎項日期2014 九月 2
原文Chinese
監督員Hsin-Ying Lee (Supervisor)

引用此

鍍製具氫氣電漿處理之非晶矽/矽鍺薄膜串疊太陽能電池於可撓式基板
明憲, 莊. (Author). 2014 九月 2

學生論文: Master's Thesis