高科技廠房水系統用電量與用水量之關係

  • 林 暐倫

學生論文: Master's Thesis

摘要

電與水是密不可分的兩種資源,而半導體業電與水的使用量非常大,在這個水資源越來越不充裕,每到夏季頻頻缺水、限水的大環境下,深入了解、管理、分配有限的水資源益顯迫切。 半導體廠房中,製程端機台使用與廠務端水處理,為消耗能源的兩大宗,本研究以科學園區中的半導體廠房為案例,探討廠房內的能源使用效率。首先了解廠房中各系統耗能情形,並分析耗能較高的製程端水系統,和廠務端水系統內部模組之構成,以找出高消耗區域與設備,接著分析一年中電與水使用量,了解造成這些設備耗能的原因。透過訪問廠內實務工程師,探求廠房每個月電與水使用量數據之變化與趨勢代表的現象,尋求節省的機會。 接著利用廠房用電量與用水量,計算廠房內部的電、水資源使用效率。再使用相關係數與月份間用電與用水量,計算電與水使用量的相關性。透過能源使用效率與相關性,可以找出節能效益最大的系統。 研究結果指出,廠務端系統中廢水處理系統之電與水使用量的相關性為0 52,較超純水生產系統之-0 04以及製程水回收系統之0 45為高,適合將節能措施與節能設備優先導入。但與另一廠房相比,其超純水生產系統之用電量用水量相關性為0 83,回收水系統為0 7,廢水處理系統為0 94,顯見全廠能源管理猶有改善空間。另外,各水處理系統耗能容易受到水質、排程、生產量,以及政府規範影響,因此指標的好壞需要以多種面相評估。
獎項日期2016 八月 16
原文Chinese
監督員Andrew S. Chang (Supervisor)

引用此文

高科技廠房水系統用電量與用水量之關係
暐倫, 林. (Author). 2016 八月 16

學生論文: Master's Thesis