Application of Fringe Reflection Method for Specular Surface Profile Measurement

摘要

本文研究中，主要目的為應用兩種不同的條紋反射法量測鏡面形貌，並探討兩種方法的差異性。兩種方法分別為向量式與法向量式，應用向量式量測小曲率之晶圓、法向量式量測大曲率之凸模具與凹模具，並將實驗量測的結果與表面粗度儀及位移感測計量測結果相比較其準確性，其量測高度變化30 μm之晶圓的均方根誤差為1 69 μm以內，量測高度變化18 mm之凸模具與凹模具的均方根誤差為0 22 mm以內。 在實驗中發現條紋間距越大，量測的試件形貌波浪狀越明顯；在量測大曲率試件時，為了避免試件斜率過大導致攝影機無法清楚地從試件觀察到螢幕畫面，應適時的傾斜試件再量測；在凹模具x方向積分時，因凹模具形狀關係，若只往左右方向積分會導致積分錯誤，一開始應先判斷試件之幾何形狀是否會造成積分中心軸或中心軸附近之斜率不存在，若有斜率不存在之情形，應先積分斜率存在之區域，再積分斜率不存在之區域，當斜率不存在時需往積分方向尋找鄰近之斜率點，再從此斜率點尋找周圍鄰近之積分結果繼續積分，直至所有斜率點完成積分。

獎項日期	2019
原文	English
監督員	Terry Yuan-Fang Chen (Supervisor)