Development of porous ZnO nanowire arrays for enhancing piezoelectric nanogenerators

論文翻譯標題: 發展多孔性氧化鋅奈米線以提升奈米發電機之效能
  • 蕭 宇良

學生論文: Doctoral Thesis

摘要

本研究主要是利用COMSOL模擬加上實驗驗證來探討孔洞對氧化鋅奈米線之壓電性質的影響。本實驗步驟如下,先利用Sputter在矽基板上鍍一層ZnO seed layer,再使用化學浴沉積法成長氧化鋅奈米柱,通過改變前驅液的反應時間,可有效控制氧化鋅奈米線之長度,接著使用高溫爐管進行氫氣退火,透過調整氫氣退火時間來控制氧化鋅奈米線之孔隙率。 利用貴重儀器中心的掃描式電子顯微鏡(HITACHI SU8000 SEM)來觀察不同參數對氧化鋅奈米線之形貌、直徑、長度及孔隙率的影響,再使用穿透式電子顯微鏡(JEOL JEM-2100F-CS TEM)來觀察氧化鋅奈米線內外孔之分布及數量,並使用壓電力顯微鏡(PFM)來量測孔洞對壓電係數之影響,最後使用原子力顯微鏡(HITACHI SPA400 AFM)分析孔隙率對壓電效應的影響,其結果與COMSOL模擬之趨勢呈現一致性。
獎項日期2019
原文English
監督員Chuan-Pu Liu (Supervisor)

引用此

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