Explore the efficiency of photoresist stripper using system dynamics

論文翻譯標題: 以系統動?學探討光阻剝?液回收效?
  • 陳 調陽

學生論文: Doctoral Thesis

摘要

在中國大陸面板業持續擴張下,台灣為提高競爭力,節流以降低生產成本已是最重要的課題;而製造面板流程中,化學品所佔的比例比其他製程成本高,因此化學品回收對於生產成本有很大的幫助。 本研究主要針對個案面板廠於製造過程中所使用的光阻剝離液進行回收,但回收光阻剝離液受限於個案面板廠設備的耗用限制,以及廠務端收集廢液再到化學品回收廠商所提供的60%回收率限制下,如何做到最佳的回收效率為本研究最終的指標。 然而光阻剝離液於個案設備生產過程中所產生的廢液,經由廠務端收集給回收廠進行回收,再將回收後的化學品運回到個案廠進行製程,此循環具有高度動態且複雜的動態關係,故本研究借重系統動力學來進行研究,並利用系統動力學的模擬軟體Vensim PLE,將個案廠的光阻剝離液使用方式建構在模擬軟體中,以模擬個案廠使用化學品的現況,並由現況進行各項政策模擬,以找出最佳的化學品回收率方法。 因此本論文預期執行政策後期望可提高光阻剝離液的回收率,除了可降低生產成本,減少公司營運支出外,對於企業社會責任、企業永續經營、企業形象、綠能環保等皆是目前環保產業發展的重點;也因此企業除了追求高獲利外,對於環境保護也需盡一份力,最終期望達到環境、能源及產業均能永續發展的目標。
獎項日期2019
原文English
監督員Wei-Tsong Wang (Supervisor)

引用此

'