本研究成?的使用可撓性奈米壓印微影製程來製作最小線寬820 nm及860 nm左右的表面聲波高頻元件，分別有共振器及濾波器兩種設計，並完成元件頻率響應訊號的量測，頻率約在2 45 GHz 及2 34 GHz。 本文中的奈米壓印技術是使用可撓性模具結合熱壓成型的奈米壓印方法。此技術其中有兩大關鍵；第一，改良壓印系統，本研究設計了氣壓輔助治具可快速拆卸安裝之加熱盤及給氣治具，氣壓輔助治具可讓奈米壓印模具產生曲面，在壓印過程中能夠完整接觸、貼附、均勻施壓於預壓印材料上，增加大面積殘留層一致性；第二，使用全氟聚醚PFPE ( Perfluoropolyethers ) 材料來製作奈米級可撓性壓印模具並在4吋鉭酸鋰 ( LiTaO3 ) 基板上完成大面積圖案化結構及並縮短壓印製程時間。此模具特點在高解析度、低成本、可撓性、脫模能力佳。 透過本奈米壓印技術所製作不同的高頻元件會去檢視頻率響應上的趨勢變化，其影響參數包含電極對數、重疊長度、反射閘極對數、電極線寬、及階梯式濾波器…等等的變化，以利往後在設計表面聲波元件時的參考依據。
Nanoimprinting Lithography For Fabrication of High Frequency Surface Acoustic Wave Device
致瑋, 朱. (Author). 2020
學生論文: Doctoral Thesis