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SiO2/ Metal/ScAlN/LiNbO3 Multilayer Structure for High k2 and Low TCF SAW Devices
論文翻譯標題
:
SiO2/Metal/ScAlN/LiNbO3多層結構應用於高機電耦合係數與低溫度飄移係數之表面聲波元件
黃 宥瑄
學生論文
:
Doctoral Thesis
摘要
none
獎項日期
2019
原文
English
監督員
Jow-Lay Huang
(Supervisor)
引用此
Standard
SiO2/ Metal/ScAlN/LiNbO3 Multilayer Structure for High k2 and Low TCF SAW Devices
宥瑄, 黃. (Author).
2019
學生論文
:
Doctoral Thesis